Ideālas kodināšanas procesa īpašības
Jul 10, 2025
Ideālajam kodināšanas procesam jābūt šādām galvenajām īpašībām, lai izpildītu pusvadītāju ražošanas un citu mikro nano apstrādes lauku augstas precizitātes prasības:
① anizotropā kodināšana, kas nozīmē tikai vertikālu kodināšanu, bez sānu urbšanas . Tikai šādā veidā mēs varam nodrošināt precīzu ģeometrisko formu replikāciju, kas identiski tām, kas atrodas uz iegravētās plēves;
② Laba kodināšanas selektivitāte nozīmē, ka pretestības kodināšanas ātrums, ko izmanto kā masku un pamatā esošo plānu plēvi vai materiālu, ir daudz zemāks nekā kodinātās plānas plēvē, lai nodrošinātu pretestības maskēšanas efektivitāti kodināšanas procesā un novērstu citu materiālu bojājumus zem plānas plēves, kas saistīta ar kodināšanu;
③ Lielas apstrādes partijas, ērta kontrole, zemas izmaksas, minimāls vides piesārņojums, piemērots rūpnieciskai ražošanai .
